气体质料流量收尾器在MOCVD工艺制造的过程中起着进犯作用，踏实精确的气体流量收尾依赖于气体质料流量收尾器。

在MOCVD工艺经过中，载气将一种或多种气态金属有机化合物调换至晶片。化合物理会并在晶片上千里积很薄的晶体层，为了竣事踏实的流量条目已达到更准确的流量收尾，需要质料流量收尾器。气体质料流量收尾器（MFC）和质料流量计（MFM）用于对气体的质料流量进行精密收尾和测量。气体质料流量的测量和收尾不受温度和压力影响，不错竣事质料流量的自动化收尾。

质料流量收尾器提供巨额气体用于填充MOCVD反应器成就的腔室。时常使用了几种不同的类型：典型气体流量鸿沟从20 mL/min的小流量质料流量收尾器到20 L/min的大流量质料流量收尾器。利用中使用质料流量收尾器可竣事踏实的气体流量开云(中国)Kaiyun·官方网站 - 登录入口，并可对工艺条目的变化作念出快速反应。